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[SSD NAND 3.3] Flash闪存工艺知识深度解析

  • 24-03-08 05:21
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 所在专栏   《深入理解SSD》

Wafer即晶圆,是半导体组件“晶片”或“芯片”的基材,从沙子里面高温拉伸生长出来的高纯度硅晶体柱(Crystal Ingot)上切下来的圆形薄片称为“晶圆”。采用精密“光罩”通过感光制程得到所需的“光阻”,再对硅材进行精密的蚀刻凹槽,继续以金属真空蒸着制程,于是在各自独立的“晶粒”(Die)上完成其各种微型组件及微细线路。对晶圆背面则还需另行蒸着上黄金层,以做为晶粒固着(Die Attach) 于脚架上的用途。

以上流程称为Wafer Fabrication。早期在小集成电路时代,每一个6吋的晶圆上制作数以千计的晶粒,现在次微米线宽的大型VLSI,每一个8吋的晶圆上也只能完成一两百个大型芯片。我们NAND Flash的Wafer,目前主要采用8寸和12寸晶圆,一片晶圆上也只能做出一两百颗NAND Flash芯片来。

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注:本文转载自blog.csdn.net的元存储的文章"https://blog.csdn.net/vagrant0407/article/details/127953335"。版权归原作者所有,此博客不拥有其著作权,亦不承担相应法律责任。如有侵权,请联系我们删除。
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